台積電「綠色製造」不是喊喊口號而已 減排比例達32%!究竟如何做到

2023-05-12 13:52 / 作者 戴嘉芬
護國神山台積電去年在台南成立首座半導體再生水廠,持續朝綠色製造方向邁進。戴嘉芬攝
護國神山台積電是全球最大的晶圓製造公司,近年來除了持續擴大產能,積極在全球擴廠之外,也逐步朝「綠色製造」方向邁進。以2022年為例,該公司溫室氣體排放量降至2010年的32%,目標在2050年達到淨零排放。

台積電先進技術暨光罩工程副總張宗生在周四舉辦的技術論壇上提到,多年來台積電一直在「綠色製造」領域耕耘並創新;為達到2050淨零排放目標,持續評估並投資各種減少溫室氣體排放的機會。2022年溫室氣體直接排放量已大幅降至2010年的32%;預估在2050年之前,排放量會降至2010年的5%不到。

在2022年,台積電直接溫室氣體排放量已經較2010年降低32%。取自TSMC

能達到如此減排比例,絕對不是喊喊口號而已!台積電的實際做法包括減少製程氣體用量、置換高暖化的氣體、全面安裝削減氣體排放的設備等等。

此外,也透過提升生產能源效率,降低間接溫室氣體的排放量。張宗生說:「目標是每個製程技術於量產第五年後,其生產能源效率提升2倍以上。」

除了自家公司全面朝綠色製造發展外,旗下供應鏈也齊頭並進。台積電推出業界第一個「新世代機台節能行動專案」,即與主要設備廠商合作,為機台制定更佳的節能標準。其中,7奈米製程技術的生產能源效率已在量產第五年提高2.5倍。預計到2024年,5奈米製程技術的生產能源效率也將提高2.5倍。

張宗生進一步指出,台積電從生產源頭就開始啟動溫室氣體減量作為,選用低碳足跡原物料,並以最佳化用量管理做為輔助。而隨著產能擴充,台積電擴大使用再生能源,帶動綠電產業發展。公司內設的「節能減碳委員會」也積極提升生產能源使用效率,深入剖析廠房用電,並以自家發明的AI冰水系統,打造機器隨行模型,優化廠務節能管理,大幅提升水的冷卻效果。

去年9月,台積電在台南建立了第一座半導體再生水廠,剛開始每日供水量5,000公噸,目前每日供水量可達20,000公噸。目標是到2030年,能將自來水消耗量大幅降低2020年的60%。此外,台積電第一座零廢中心也即將進入運轉,未來透過再生水及零廢製造技術持續擘劃綠色製造的永續藍圖。

張宗生強調,台積電在擴大全球生產據點的同時,也透過GigaFab全球製造管理平台來確保各地晶圓廠能達到一致的營業效率和生產品質,並持續在綠色製造的努力和創新,來保護地球,減少對氣候變遷的影響。
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