【晶片島減碳3-3】台積電淨零減排一馬當先! 且看護國神山怎麼做

2024-02-14 10:00 / 作者 戴嘉芬
護國神山台積電2022年在台南成立首座半導體再生水廠,持續朝綠色製造方向邁進。戴嘉芬攝
護國神山台積電是全球最大的晶圓製造公司,近年來除了持續擴大產能,積極在全球擴充產能之外,也逐步朝「綠色製造」方向邁進。去年宣布加速 RE100 進程,目標2040年全球營運100%使用再生能源,2030年全球生產營運據點使用再生能源比例提升為60%,並帶動綠電產業發展。

2019年,台積電成立「ESG指導委員會」,由董事長劉德音親自擔任主席。從17個聯合國永續發展目標(SDGs)中,挑選出9個與本業最相關的目標,並歸納出五大 ESG 方向,包括綠色製造、建立責任供應鏈、打造多元包容職場、培育人才、關懷弱勢等。

台積電資訊技術及資材暨風險管理資深副總林錦坤日前在供應鏈論壇指出,氣候變遷和環境問題已變得日益重要,因此台積電積極追求永續發展。為此,台積電不僅提前了 RE100 目標達成時程至2040年,更進一步將 ESG(環境、社會、公司治理)納入採購流程,強調與供應商攜手合作,共同推動永續淨零目標。

在綠色製造方面,台積電先進技術暨光罩工程副總張宗生表示,為實現2050淨零排放目標,公司積極評估並投資於各種減少溫室氣體排放的機會。2022年,溫室氣體直接排放量已降至2010年的32%;預估在2050年之前,排放量將降至2010年的5%以下。

台積電針對空汙防制設備進行優化,以提升空氣排放品質。取自TSMC

能達到如此減排比例,絕對不是喊喊口號而已!台積電從生產源頭著手,包括降低製程氣體消耗、置換高暖化氣體,全面安裝廢棄處理設備等措施,以及選用低碳足跡原物料,以達到最佳化用量管理。

此外,也透過提升生產能源效率,降低間接溫室氣體的排放量。張宗生說:「目標是每個製程技術於量產第五年後,其生產能源效率提升1倍以上。」

在2022年,台積電直接溫室氣體排放量已經較2010年降低32%。取自TSMC

除了自家製造過程的綠色改善,台積電也積極推動供應鏈的永續發展。該公司推出業界第一個「新世代機台節能行動專案」,與主要設備廠商合作,為機台制定更佳的節能標準。其中,7奈米製程技術的生產能源效率已在量產第五年提高2.5倍,預計到2024年,5奈米製程技術的生產能源效率也將提高2.5倍。

台積電去年啟動了針對先進製程機台管路加熱裝置的「節熱省電二階段計畫」,透過優化裝置和導入新材料,成功降低熱散失,提升節能成效。這一舉措使得全球既有廠區的管路加熱裝置完成優化調整,年節電達4461萬度,減碳2萬2千公噸,相當於57座大安森林公園一年的二氧化碳吸附量。

該公司內設的「節能減碳委員會」也積極提升生產能源使用效率,深入剖析廠房用電,並以自家發明有專利的 AI 冰水系統,打造機器隨行模型,優化廠務節能管理,大幅提升水的冷卻效果。

台積電打造壓縮乾燥空氣系統冷卻機制,提升節能成效。取自TSMC

此外,台積電也攜手供應商針對冷卻水塔研發「高效能風扇葉片」,有效降低運轉能耗,平均節能率達13%;截至2023年12月,已導入晶圓二廠、晶圓三廠、晶圓五廠、晶圓六廠、晶圓十二廠、晶圓十五廠及先進封測五廠,共完成83台高效能風扇葉片改裝,同時列為新建廠區標準設計並新設65台,總計節電654萬度。

台積電針對冷卻水塔研發高效能扇葉。取自TSMC

廢棄資源轉製再利用

為實現循環經濟,台積電與供應商聯手推動「電子級化學品回收計畫」,針對製程產出的廢棄資源研發再利用技術,將製程產出的廢棄資源轉製為電子級產品,進一步強化資源再生價值;去年,成功將化學品環戊酮(Cyclopentanone)廢液再製為符合品質規範的電子級環戊酮,11月正式導入先進封測三廠,預計年減新液採購量750公噸、減碳380公噸。

台積電攜手供應商將環戊酮廢液再製為電子級環戊酮,實現資源永續利用。取自TSMC

近期則是攜手環境部共創「化學品租賃」商業模式,鼓勵供應商持續提升化學品循環使用率,推動中的「廢活性碳再生回用專案」更成為國內化學品租賃示範首例,預計為期1年的示範期間將700公噸的租賃活性碳使用壽命延長1倍、減碳4,640公噸,減省新台幣850萬元的活性碳購買及報廢處理費用,並做為環境部研訂化學品租賃專法的參考。

全球首座半導體再生水廠

2022年,台積電在台南建立了全球第一座半導體再生水廠,剛開始每日供水量5,000公噸,目前每日供水量可達20,000公噸。目標是到2030年,能將自來水每生產單位消耗量大幅降低2020年的60%。此外,台積電在中科建置首座零廢棄物製造中心也即將於2030年運轉,目標年處理廢棄物減量14萬公噸。

台積電南科再生水廠目前每日供水量可達20,000公噸。戴嘉芬攝

而高雄規劃興建的三座2奈米晶圓廠,也將100%使用再生水,預計由楠梓跟橋頭2個再生水廠供應。其中,楠梓再生水廠預計117年底開始供應再生水,並於119年底每日供應7萬噸。海外如日本熊本、美國亞利桑那也同步興建再生水廠,未來將視開發進度,逐漸導入更多綠色製造與資源循環機制。

降低供應鏈購綠電門檻

為了讓旗下供應鏈成功購置綠電,去年,台積電打造再生能源與產業用電的媒合平台,簽訂為期20年的200億度再生能源聯合採購長期合約,為供應商與子公司爭取穩定的聯合採購價格,降低供再生能源採購門檻,加速國內半導體產業綠色轉型。

而在責任供應鏈部分,台積電人力資源資深副總暨ESG委員會主席何麗梅指出,台積電在建立責任供應鏈層面,已經歷三個階段,從「負責任的採購者」、「永續的推動者」轉變為「共好價值的提倡者」。

台積電ESG委員會主席何麗梅指出,台積電與供應鏈聯手推動資源共享和綠色減碳2大計畫。取自TSMC

這期間推動資源共享和綠色減碳計畫,透過供應商碳管理平台,採取更積極的減碳措施,與供應鏈一同邁向淨零排放路徑,在2040年以前實現100%使用再生能源、2050年淨零排放目標。

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